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原理，結構

FGM221系列氣體質量流量計專門用于 氣體流量的高精度測量。該系列流量計采用 業內先進流量傳感芯片，結合航空鋁材拋 光 氣體流道設計，配合公司核心的標定和補償 算法，實現對各類清潔、干燥和無腐蝕性氣體 的高精度流量測量。該產品 20SLM以內典型 精度為1%，50SLM典型精度為1.5%，量程 比 均 優 于 2 0 0 : 1 ，此 系 列 產 品 的 量 程 從 20SCCM到，200SLM可選(其它量程可咨詢 定制)，并配有液晶屏顯示、數字和模擬輸出， 方便用戶現場和遠程調試。該產品成本低、易 安裝、不需要額外溫度和壓力補償。